CVD方法生长平面和曲面块状多晶硫化锌

• 作者: 东燕萍 杨曜源 王和明 王永杰 蔡以超 闫泽武
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CVD 硫化锌 红外材料 块状多晶 红外光谱
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: O782
• 字数: 1851字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.01.006

摘要

采用化学气相沉积方法成功地生长出硫化锌多晶红外光学材料.加工后的成品多晶硫化锌尺寸为直径150mm,厚度为6mm;既有曲面的整流罩,又有平面窗口,蒸镀多层防反膜.由于采用了自制的活性硫化氢为原料,以及较好的工艺生长条件,生长的硫化锌红外光学材料长波透射比达到理论值75%.镀多层防反膜以后,中、长红外波段透过率均有所提高,但镀膜技术还有待改进.文中对硫化锌的透过曲线进行了分析与比较,结果表明我们生长的硫化锌杂质较少,是红外透过率高的原因.文中还测试了硫化锌的其它主要性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡以超		5	50	3.0	5.0
2	王和明		1	7	1.0	1.0
3	杨曜源		3	45	3.0	3.0
4	东燕萍		1	7	1.0	1.0
5	王永杰		1	7	1.0	1.0
6	闫泽武		1	7	1.0	1.0