折射型微透镜列阵制作的一种新途径

• 作者: 卢国纬 周礼书 李学民
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微透镜列阵 灰阶掩模 激光直写
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 294-296
• 页数: 3页
• 分类号: O434.19|TH74
• 字数: 1749字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2000.03.018

摘要

介绍了一种制作折射型微透镜列阵的新方法,其主要思想参考了灰阶掩模法.所用掩模板用激光直写制作,通过一次曝光即可在光刻胶上形成折射型微透镜的轮廓,并给出了微透镜轮廓的测试图样.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周礼书	中国科学院光电研究所	4	47	3.0	4.0
2	李学民	电子科技大学应用物理所	1	5	1.0	1.0
3	卢国纬	电子科技大学应用物理所	1	5	1.0	1.0