使用微晶振的扫描近场声显微镜研究

• 作者: 张鸿海 徐龙 汪学方 王生
• 来源期刊: 武汉汽车工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描近场声显微镜 微力传感器 分辨率
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TH742.9
• 字数: 1858字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3963/j.issn.1007-144X.2000.01.009

摘要

描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM).其原理是利用谐振频率为1 MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此过程中晶振受到流体阻尼,振动特性发生变化,通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌的信息.在分析了SNAM的检测机理基础上,设计了SNAM系统,测量时垂直分辨率可达到纳米级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王生		3	7	1.0	2.0
2	张鸿海		5	14	2.0	3.0
3	汪学方		3	7	1.0	2.0
4	徐龙		4	14	2.0	3.0