Ti-Mo-N三元多层膜的结构与性能

• 作者: 吴起白 曾鹏 胡社军 谢光荣 黄拿灿
• 来源期刊: 材料科学与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 Ti-Mo-N多元膜 多层膜 组织与性能
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 31-34,30
• 页数: 5页
• 分类号: TG142|O484
• 字数: 2082字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2000.03.008

摘要

采用Ti/Mo复合靶,用多弧离子镀技术沉积了Ti-Mo-N多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究.结果表明:在本试验条件下多元膜的结构形式为(Ti,Mo)2N,最佳多层膜的结构形式为基体/Ti/TiN/(Tiy Mo1-y)N/(Ti,Mo)2N,并具有较高的显微硬度、耐磨性和极低的孔隙率,在800℃具有很好的抗氧化性能.在沉积过程中存在着多元合金膜层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾鹏	广东工业大学机械系	64	572	13.0	20.0
2	胡社军	广东工业大学机械系	66	842	14.0	26.0
3	谢光荣	广东工业大学机械系	82	729	14.0	23.0
4	黄拿灿	广东工业大学机械系	48	688	14.0	24.0
5	吴起白	广东工业大学机械系	28	190	9.0	12.0