TMAH在压力传感器制作中的应用

• 作者: 刘洪 姚素英 张生才 张维新 曲宏伟 毛赣如
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 四甲基氢氧化铵 终止腐蚀 高温压力传感器 各向异性腐蚀 硅杯
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文与技术报告
• 页码范围: 609-612
• 页数: 4页
• 分类号: TN379
• 字数: 2094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2000.06.010

摘要

介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用.通过大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件,取得了较好的腐蚀结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲宏伟	天津大学电子信息工程学院	11	133	5.0	11.0
2	姚素英	天津大学电子信息工程学院	160	911	14.0	21.0
3	张生才	天津大学电子信息工程学院	41	316	11.0	15.0
4	张维新	天津大学电子信息工程学院	10	86	7.0	9.0
5	刘洪	天津大学电子信息工程学院	62	1112	18.0	32.0
6	毛赣如	天津大学电子信息工程学院	3	32	3.0	3.0