用于X光成像系统像传递函数的Al静态成像靶

• 作者: 周斌 徐平 王珏 陆卫昌
• 来源期刊: 同济大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 静态成像靶 热蒸发 光刻技术 离子束刻蚀 热磷酸腐蚀
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 页码范围: 572-574
• 分类号: O532
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-374X.2000.05.016

摘要

介绍用热蒸发结合光刻技术以及离子束刻蚀或热磷酸腐蚀的方法，制备用于测量X光成像系统像传递函数的Al静态成像靶的工艺．对两种腐蚀工艺进行了比较，确定离子束刻蚀是获得所需图形的理想方法．经扫描电镜(SEM)和台阶仪测量，Al静态成像靶的参数满足实验要求．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌	同济大学玻耳固体物理研究所	140	1582	22.0	31.0
2	王珏	同济大学玻耳固体物理研究所	79	1255	22.0	32.0
3	徐平	同济大学玻耳固体物理研究所	6	14	2.0	3.0
4	陆卫昌	同济大学玻耳固体物理研究所	1	2	1.0	1.0