软X射线光学系统曲面镀膜膜厚测量方法

• 作者: 万志 杜温锡
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 软X射线多层膜 曲面基片 误差分析
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 124-127
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1218字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2000.02.002

摘要

软X射线光学系统需要在超光滑曲面上均匀镀膜。我们将超光滑曲面看作由若干个小平面拼接而成,通过小角衍射仪测量出各个小平面的周期膜厚,并拟和出整个曲面的镀膜速率。为提高控制精度,我们对同一片多层膜进行等精度多次测量,去除其中的粗大误差、系统误差,最后得到多层膜厚度的最佳估计值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万志	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所电子印刷工程技术中心	30	306	11.0	17.0
2	杜温锡	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所电子印刷工程技术中心	2	8	1.0	2.0