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摘要:
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高功率KrF准分子激光光束平滑技术实验研究
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无阶梯诱导空间非相干
均匀性
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相干时间
基于微流体芯片的准分子激光微加工技术的研究进展
准分子激光微加工
微流体芯片
光蚀刻
高功率准分子激光系统光学设计
准分子激光
光学设计
像传递
角多路
合束
飞点准分子激光角膜屈光手术理论及实验研究
飞点扫描
准分子激光
波前像差
角膜
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 2000年高功率KrF准分子激光系统研究进展
来源期刊 中国原子能科学研究院年报 学科 工学
关键词 KrF准分子激光 高功率 系统研究 2000年
年,卷(期) 2000,() 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 99
页数 1页 分类号 TN249
字数 语种 中文
DOI
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2000(0)
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研究主题发展历程
节点文献
KrF准分子激光
高功率
系统研究
2000年
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国原子能科学研究院年报
年刊
大16开
北京275信箱65分箱
1978
chi
出版文献量(篇)
6253
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51
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