论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- 等离子体应用技术快报期刊 \
低压等离子体清洗金属表面的工业应用
推荐文章
金属纳米结构表面等离子体共振及其应用
纳米光子器件
金属纳米结构
等离子体共振
应用领域
等离子体技术在金属材料表面改性中的应用
等离子体技术
金属材料
表面改性
应用
等离子体隐身对飞行器表面的影响研究
等离子体
碰撞
飞行器表面
损伤
隐身技术
辉光等离子体氮化铀表面的氢腐蚀
表面改性
辉光等离子体氮化
U2N3
氢蚀
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 低压等离子体清洗金属表面的工业应用 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 表面清洁度 工艺 光致抗蚀剂 半导体制造 掩膜 低压等离子体清洗 金属表面 | ||
| 年，卷（期） | 2000,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 16-17 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TG178 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
2000(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
表面清洁度
工艺
光致抗蚀剂
半导体制造
掩膜
低压等离子体清洗
金属表面
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
864
总下载数（次）
2
总被引数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
等离子体应用技术快报2000
等离子体应用技术快报1999
等离子体应用技术快报1998
等离子体应用技术快报1997
等离子体应用技术快报1996
等离子体应用技术快报1995
等离子体应用技术快报1994
等离子体应用技术快报2000年第9期
等离子体应用技术快报2000年第8期
等离子体应用技术快报2000年第7期
等离子体应用技术快报2000年第6期
等离子体应用技术快报2000年第5期
等离子体应用技术快报2000年第4期
等离子体应用技术快报2000年第3期
等离子体应用技术快报2000年第2期
等离子体应用技术快报2000年第12期
等离子体应用技术快报2000年第11期
等离子体应用技术快报2000年第10期
等离子体应用技术快报2000年第1期
