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GaN蚀刻期间电感耦合Cl2／BCl3等离子体的特性
GaN蚀刻期间电感耦合Cl2／BCl3等离子体的特性
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摘要：
推荐文章
电感耦合等离子体刻蚀GaN材料的工艺研究
电感耦合等离子体刻蚀
GaN
刻蚀速率
选择比
直流偏压
Cl2基气体感应耦合等离子体刻蚀GaN的工艺
干法刻蚀
感应耦合等离子体
GaN
刻蚀速率
Cl2/He
Cl2/Ar
电感耦合等离子体质谱联用技术应用进展
电感耦合等离子体质谱
联用技术
电感耦合等离子体-质谱法测水中铊不确定度的评定
电感耦合等离子体-质谱法
水中铊
不确定度
评定
内容分析
关键词云
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(/年)
文献信息
| 篇名 | GaN蚀刻期间电感耦合Cl2／BCl3等离子体的特性 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 氮化镓 含氯气体 激光二极管 GAN 蚀刻 电感耦合 Cl2/BCl3 等离子体 特性 | ||
| 年，卷（期） | 2000,（12） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 19-21 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | O53 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
氮化镓
含氯气体
激光二极管
GAN
蚀刻
电感耦合
Cl2/BCl3
等离子体
特性
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
864
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