表面层型半导体陶瓷电容器的开发及产业化

• 作者: 李勇 王振平 章士瀛 赵俊斌
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 经济
• 关键词: 表面层型 晶界层型 半导化(还原) 再氧化
• 年，卷（期）: 2000,（9）
• 所属期刊栏目: 863计划项目介绍
• 页码范围: 66-68
• 页数: 3页
• 分类号: F4
• 字数: 3347字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2000.09.023

摘要

表面层型半导体陶瓷电容器的开发成功,是我国新型元件领域中的一项高新技术及其产业化的突破.重点介绍了表面层型半导体陶瓷电容器的基本结构和原理.本项目开发创新成果:隧道式气氛烧结组合炉,还原气氛的获取,半导化及再氧化技术,工程中设计参数及氧化层厚度观察及量测技术等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王振平		4	16	3.0	4.0
2	章士瀛		10	74	3.0	8.0
3	赵俊斌		3	15	3.0	3.0
4	李勇		3	15	3.0	3.0