静电梳微谐振子结构的力学分析

• 作者: 丁晓红 宋晓珏 陈晓阳
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电梳微谐振子 蟹脚结构 直脚结构 位移 应力
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 机构分析
• 页码范围: 760-762
• 页数: 3页
• 分类号: TU311.3
• 字数: 1333字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2000.05.028

摘要

针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子,对其悬臂梁的两种结构--蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了分析,推导出应力和位移的计算方法,据此从理论上阐述了在实际中多用直脚型结构的原因.得出了比国外文献更符合实际情况的分析结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁晓红		7	36	4.0	5.0
2	陈晓阳		138	1179	18.0	25.0
3	宋晓珏		3	32	3.0	3.0