石英器件加工工艺及最新进展

• 作者: 刘晓胜 周岩 张广玉 杨乐民 郑胜军
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 石英器件 磨料喷射 超声落料 化学蚀刻 激光加工
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 668-671
• 页数: 5页
• 分类号: TH117.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2000.06.020

摘要

介绍国内外石英器件加工工艺发展,以石英摆片为例,介绍石英器件常用的加工工艺以及石英器件加工工艺的最新工艺进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张广玉	哈尔滨工业大学机电学院	87	766	14.0	24.0
2	杨乐民	哈尔滨工业大学机电学院	29	332	10.0	17.0
3	周岩		31	289	8.0	16.0
4	刘晓胜		9	128	5.0	9.0
5	郑胜军	哈尔滨工业大学实验技术学院	3	22	3.0	3.0