光栅多普勒纳米干涉仪

• 作者: 林德教 殷纯永 蒋弘
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: Dammann光栅 纳米分辨率 退偏效应 非线性误差
• 年，卷（期）: 2000,（12）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 1080-1084
• 页数: 5页
• 分类号: O43
• 字数: 2495字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2000.12.007

摘要

用横向塞曼激光作光源构成的Dammann光栅多普勒干涉仪有利于降低热膨胀影响,测量过程中干涉臂长不变、便于克服折射率漂移,具有0.7 nm分辨率.分析了光栅退偏效应的影响,与差动双频激光干涉仪进行了比对.实验结果表明,光栅间距光学8细分等间隔,当光栅栅距为20μm时其测量非线性误差不超过25 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷纯永	清华大学精密仪器与机械学系	43	662	14.0	24.0
2	林德教	清华大学精密仪器与机械学系	10	208	7.0	10.0
3	蒋弘	清华大学精密仪器与机械学系	4	62	4.0	4.0