超精密光学非球曲面磨削系统的研制

• 作者: 张飞虎 董申 陈明君
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 超精密磨削加工 光学非球曲面 中心高微调机构
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 所属期刊栏目: 超精密加工技术专辑
• 页码范围: 849-851
• 页数: 4页
• 分类号: TG580.61
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2000.08.003

摘要

为磨削加工出高精度、高质量的非球曲面器件,从理论上分析影响已加工表面粗糙度、轮廓精度的各种主要因素;设计研制一套超精密非球曲面磨削系统,其工件主轴、横溜板、纵溜板及磨头主轴均采用气浮形式,工件主轴的回转精度为0.05 μm,磨头主轴最高转速为80 000 r/min,其回转精度为0.1 μm,横溜板和纵溜板的直线位移分辨率可达4.9 nm,而磨头中心高微调机构可实现0.1 μm的精确微调;用已经研制成功的这套磨削系统进行了非球曲面的磨削实验,结果表明,其磨削加工的零件轮廓精度为0.4 μm,表面粗糙度Ra优于0.01 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张飞虎	哈尔滨工业大学机电学院	132	2251	25.0	41.0
2	陈明君		63	1371	22.0	35.0
3	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0