超光滑基底表面污染微粒的激光清洗技术

• 作者: 史兴宽 徐传义 王健
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 超光滑表面 激光辅助清洗 污染微粒 机理
• 年，卷（期）: 2000,（10）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1138-1141
• 页数: 5页
• 分类号: TG51
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2000.10.020

摘要

随着超光滑表面质量的不断提高,表面清洗已成为超光滑基片制造过程中的一项重要工序,并且成为影响产品合格

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史兴宽		17	538	8.0	17.0
2	王健		43	440	12.0	19.0
3	徐传义		7	30	4.0	5.0