Pd-Y合金膜的MOCVD研制

• 作者: 夏长荣 孟广耀 彭定坤 汪学军 郭晓霞 陈初生
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 化学
• 关键词: Pd-Y合金 β-二酮螯合物 化学气相淀积 金属陶瓷复合膜
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: O614
• 字数: 1861字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0251-0790.2000.01.004

摘要

采用金属有机化合物的化学气相淀积法,以β-二酮螯合物为源物质,在多孔Al2O3衬底上成功制备了超薄钯钇合金膜.用Pd(AcAc)2+Y(AcAc)3混合源制备的钯钇合金膜的晶粒尺寸(21nm×10 nm)比单独用Pd(AcAc)2制备的钯膜的尺寸(30 nm×10 nm)小.XPS研究发现,制备的Pd-Y合金膜中Y/Pd比小于源物质的.氢的透气性实验表明,合金膜的氢渗透率高于Pd膜,且在200～350 ℃范围内渗透率稳定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏长荣	中国科技大学材料科学与工程系	6	53	5.0	6.0
2	郭晓霞	中国科技大学材料科学与工程系	1	7	1.0	1.0
3	汪学军	中国科技大学材料科学与工程系	1	7	1.0	1.0
4	陈初生	中国科技大学材料科学与工程系	1	7	1.0	1.0
5	彭定坤	中国科技大学材料科学与工程系	7	81	4.0	7.0
6	孟广耀	中国科技大学材料科学与工程系	17	180	8.0	13.0