基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
【正】 0019789NiCr 溅射薄膜内应力的研究[刊]/于映//真空电子技术.-2000,(5).-9~12(C)本文采用磁控溅射法在0.5mm 厚的40Cr 钢基片上沉积1~12μm 的 NiCr 合金薄膜,运用钠光平面干涉法测量 NiCr 溅射薄膜的内应力,研究表明影响NiCr 薄膜内应力的主要因素是工作气压和基片温度,并运用 Klokolm 理论对该影响作用进行了分析。参5
推荐文章
代铍铜导电弹性复合金属材料的研制
铍铜
层状
导电弹性
复合材料
聚苯胺与金属镍粉复合导电填料的电磁屏蔽效能
金属粉末
导电聚苯胺
电磁屏蔽材料
屏蔽效能
新型雷达干扰材料--导电聚苯胺
聚苯胺
电导率
毫米波雷达
衰减
纳米金属喷墨导电墨水研究进展
导电墨水
金属纳米
喷墨
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 金属与导电材料
来源期刊 电子科技文摘 学科 工学
关键词 内应力 溅射薄膜 导电材料 磁控溅射法 干涉法测量 基片温度 合金薄膜 电子技术 工作气压 光平面
年,卷(期) 2000,(12) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 5-5
页数 1页 分类号 TN
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
2000(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
内应力
溅射薄膜
导电材料
磁控溅射法
干涉法测量
基片温度
合金薄膜
电子技术
工作气压
光平面
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子科技文摘
月刊
1009-0851
11-4388/TN
16开
1999
chi
出版文献量(篇)
10413
总下载数(次)
1
总被引数(次)
71
论文1v1指导