二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法

• 作者: 张慧敏 熊木地 肖文礼 邢忠宝
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 二元光学 激光直写 主轴伺服控制 速度控制 自适应控制
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 微光学
• 页码范围: 4-6,18
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 2662字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2001.02.002

摘要

介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统，分析了主轴 伺服系统 的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中，主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点，判断出离焦信号的极值点，并计算相邻极值点之间的时间间隔，最终估算出离焦信号频带，并依据离焦信号的频带自动调节主轴速度的新方法。采用此方法可极大地提高刻划效率。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢忠宝	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	34	206	9.0	12.0
2	张慧敏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	18	344	9.0	18.0
3	熊木地	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	43	3.0	5.0
4	肖文礼	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	43	3.0	4.0