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摘要:
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软紫外光压印光刻的模具制造研究
光刻胶
母版材料
软模具
激光等离子体极紫外光刻光源
极紫外光刻
激光等离子体
极紫外光源
转换效率
紫外光电被动告警
紫外线
目标特性
紫外探测
告警
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 2001年国际极紫外光刻会议
来源期刊 光学精密工程 学科
关键词
年,卷(期) 2001,(2) 所属期刊栏目 国际会议
研究方向 页码范围 200-202
页数 分类号
字数 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.02.029
五维指标
传播情况
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引文网络
引文网络
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参考文献  (0)
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二级引证文献  (0)
2001(0)
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
论文1v1指导