二代微光器件工艺质量分析

• 作者: 徐江涛
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 四极滤质器 微光器件 油污染 油蒸气
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 微光技术
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TN223-34
• 字数: 1790字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2001.06.007

摘要

用四极滤质器对微光管工艺质量进行检测,发现工艺质量污染及制管成品率低的主要原因是由于真空机组中油蒸气污染和操作方法不正确所致.通过实验,本文给出了解决油蒸气污染的措施和正确排气的操作方法.建议采用一种多用途的全无油真空装置.最后对四极滤质器在微光工艺中应进一步开展的工作提出几点建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐江涛		21	106	6.0	9.0