离子束去除加工原理探讨

• 作者: 李扬 赵葛霄 郑莹娜
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束 溅射 去除加工
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 设计.研究
• 页码范围: 26-28
• 页数: 3页
• 分类号: TH
• 字数: 2804字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2001.01.009

摘要

从离子束溅射的微观力效应出发，介绍了离子束去除加工的原理，分析了影响加工效率的因素，并对加工装置的结构及工作原理进行了探讨。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李扬		104	554	13.0	17.0
2	郑莹娜		45	263	8.0	12.0
3	赵葛霄		12	129	7.0	11.0