离子束加工光学镜面的材料去除特性

• 作者: 周林 李圣怡 焦长君 王登峰 解旭辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学镜面 离子溅射 去除效率 加工损伤 热效应
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1520-1526
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.68
• 字数: 3823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.10.011

摘要

分析了离子束加工光学镜面的材料去除效率、加工损伤厚度以及表面热效应等材料去除评价指标.基于Sigmund溅射理论,分析了此三个评价指标与离子入射角度和离子能量等加工参数的关系,建立了相关模型.以石英玻璃为例,利用TRIM软件仿真离子溅射过程,分析理论模型各参数,具体研究了三个评价指标与离子能量和入射角度的关系.结果表明:材料去除效率随离子能量的增大而缓慢增大,随入射角度增大而显著增大,60°时的去除效率约为0°时的4.5倍;加工损伤厚度随离子能量增大而近似呈线性增大,随入射角度增大而减小;热效应随离子能量近似呈线性增大,而随入射角度增大而减小.因此,离子束加工工艺过程中,应尽量增大离子束入射倾角来同时提高这三方面的指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
2	解旭辉	国防科技大学机电工程与自动化学院	44	582	14.0	22.0
3	周林	国防科技大学机电工程与自动化学院	32	408	12.0	19.0
4	焦长君	国防科技大学机电工程与自动化学院	10	210	6.0	10.0
5	王登峰	国防科技大学机电工程与自动化学院	3	49	3.0	3.0