光学镜面离子束加工的材料去除效率

• 作者: 周林 李圣怡 焦长君 解旭辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学加工 离子束修形 离子溅射 去除效率
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1343-1348
• 页数: 6页
• 分类号: TQ171.68
• 字数: 3111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.08.001

摘要

分析了离子束加工光学镜面的材料去除效率和不I司材料之间的相对去除效率与工艺参数的关系.基于Sigmund 溅射理论.建立了表征去除效率的指标一法向去除速率、体积去除速率和溅射产额与束能、束流以及入射角度之间的关系模型.以石英、微晶和K4玻璃等为样件,实验分析了去除效率与工艺参数的关系,验证了模型的正确性.分析结果表明,材料去除效率随束流线性增大,与束能平方根约呈线性关系;随着入射角度先缓慢增大,约在60～80°达到最大值.然后迅速降为0.不同材料之间的相对去除效率与束流无关;与束能的关系较弱,可以忽略;随角度变化较为明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
2	解旭辉	国防科技大学机电工程与自动化学院	44	582	14.0	22.0
3	周林	国防科技大学机电工程与自动化学院	32	408	12.0	19.0
4	焦长君	国防科技大学机电工程与自动化学院	10	210	6.0	10.0