光学镜面离子束加工的可达性

• 作者: 周林 戴一帆 李圣怡 焦长君 解旭辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束加工 驻留时间 加工可达性 光学镜面加工 计算机控制 光学表面成形
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 160-166
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.68
• 字数: 4037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.02.003

摘要

提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证.分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的.但是面形误差频率越高,驻留函数解越大,去除面形误差时去除的额外材料越多.额外的材料去除量随着离子束径和空间误差波长之比(d/λ)的增加而指数增加.当d/λ=0.5时,额外材料去除量为15%,还是可以接受的;当d/λ=1时,额外材料去除量迅速上升到73%,该值即很难被接受.理论分析和仿真结果表明,为了优化加工过程,d/λ应该＜0.5.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科技大学机电工程与自动化学院	109	1657	23.0	33.0
2	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
3	解旭辉	国防科技大学机电工程与自动化学院	44	582	14.0	22.0
4	周林	国防科技大学机电工程与自动化学院	32	408	12.0	19.0
5	焦长君	国防科技大学机电工程与自动化学院	10	210	6.0	10.0