微计量超声波传感器

• 作者: 薛迎春
• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微计量 超声波 传感器
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 页码范围: 174-180
• 页数: 7页
• 分类号: TP212

摘要

为了获得高的空间分辨率，而以聚焦超声波传感器作为声学显微镜的超声波敏感器件，最近，相继开发出各种类型的聚焦传感器，用以开拓诸如超声波微光谱学，超声波微计量学等新领域，以显微标度定量测试材料的微观特性与结构，本文介绍在定量测试系统中聚焦传感器及其在微光谱学和微计量学中的应用。