移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题

• 作者: 于瀛洁 陈明仪 韦春龙
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 波面干涉仪 移相值标定 相位解调 误差处理
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 页码范围: 584-587
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2082字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.06.022

摘要

光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求,近年来相关测量技术发展非常迅速,其中移相技术是较典型的代表,发展日趋成熟并得到了广泛应用.以PG-15型平面干涉仪为硬件基础,采用移相技术,解决了其中移相值标定、相位解调、误差处理中的难点,研制了数字波面干涉仪.对干涉仪中的这几个关键技术问题进行了讨论,并给出了相应的解决方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学精密机械工程系	80	791	16.0	24.0
2	陈明仪	上海大学精密机械工程系	29	266	11.0	15.0
3	韦春龙	上海大学精密机械工程系	5	55	3.0	5.0