菲索干涉仪中精确移相的实现

• 作者: 史振广 彭吉 杨怀江 苏志德 隋永新
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 菲索干涉仪 移相系统 同步采集 面形测量 标定
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与测试
• 页码范围: 244-250
• 页数: 7页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3513字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20130602.0244

摘要

为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究.介绍了移相系统的构成和工作原理,计算了测量过程中移相器的速度.针对PZT移相器在移相过程中会引入离焦误差,并存在加速段和减速段的问题,详细设计了移相器的行进过程.最后,对移相器的性能进行了标定.在改造后的干涉仪上开展了重复性验证实验,结果表明:干涉仪可以获得λ/11 340的RMS测量重复性.对改造后干涉仪与Zygo公司生产的Verifire XP/D干涉仪的测量精度做了比对实验,结果显示:相同元件下两者测量结果的面形RMS之差约为0.9 nm,表明提出的移相系统及移相方法在重复性和准确度方面都能满足纳米级面形测量的要求,为研制高精度移相干涉仪奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨怀江		8	63	6.0	7.0
4	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	71	495	11.0	19.0
8	史振广	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	9	44	3.0	6.0
9	彭吉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	6	32	4.0	5.0
13	苏志德	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	5	21	2.0	4.0