RIBLL大面积真空镀膜装置

• 作者: 周嗣信 宁振江 李加兴 王全进 王建峰 王建松 王猛 王贵文 王金川 肖国青 詹文龙 郭忠言 陈志强
• 来源期刊: 核电子学与探测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 大面积 双叠层阳极电离室 分条阳极 厚度不均匀度
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 51-55
• 页数: 5页
• 分类号: TB79
• 字数: 2954字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-0934.2001.01.015

摘要

描述了一台大面积双叠层阳极在X、Y方向分条读出气体电离室而发展的大面积真空镀膜装置。镀膜腔体内体积为990mm×780mm×780mm。可镀膜面积最大为960mm×750mm。用该装置为RIBLL电离室镀阴极、X阳极、Y阳极和窗,镀膜面积440mm×160mm,Mylar膜厚3.26μm,镀银97.27nm,镀银厚度不均匀度为18.91％。用它制作的RIBLL电离室的阳极、阴极,当电离室工作气压25kPaP10气体,阳极电压220V,阴极电压－1600V时,对5.15MeVα源测量能量分辨率为4.2％。