基于微石英晶振的静电力显微镜的设计

• 作者: 张鸿海 汪学方 王志勇 郭文明
• 来源期刊: 武汉理工大学学报(信息与管理工程版)
• 学科: 工学
• 关键词: 静电力显微镜 微石英晶振 表面电荷分布
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: TM934.33
• 字数: 3058字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3963/j.issn.1007-144X.2001.04.008

摘要

描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜(EFM).利用谐振频率为32.768 kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器,它在逼近试件表面过程中,振动特性发生变化.通过检测振动幅值的变化,并经过信号处理来获得样品表面电荷分布的信息.在分析了EFM检测原理的基础上,设计了EFM系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鸿海	华中科技大学机械科学与工程学院	68	430	11.0	16.0
2	汪学方	华中科技大学机械科学与工程学院	32	210	8.0	12.0
3	王志勇	华中科技大学机械科学与工程学院	18	145	7.0	11.0
4	郭文明	华中科技大学机械科学与工程学院	3	11	2.0	3.0