核孔膜的非常规蚀刻法

• 作者: 冼鼎昌 巨新 张宝亭 彭良强 李涛 王世成
• 来源期刊: 北京同步辐射装置：英文版
• 学科: 物理学
• 关键词: 核孔膜 非常规蚀刻法 不对称蚀刻法 温度梯度蚀刻法 模拟计算
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 104-108
• 页数: 0页
• 分类号: O571.33

摘要

不对称蚀刻法的分桥表明，在灵敏度不变时可以得到小孔径核孔膜。实验显示，由于孔径不均匀现象的制约，核孔膜的孔径可减小到1／2。温度梯度蚀刻法的分桥表明，导通时间的减小与膜两面的温度差成正比，在实际条件下孔径减小到1／5。模拟计算表明，采用该方法可得到控状孔核孔膜，但蚀刻过程很难控制。