硅基底平面波导光通讯集成器件的模拟、设计及工艺

• 作者: 何赛灵 吕俊 周勤存 戴道锌 殷源 王谦 盛钟延
• 来源期刊: 中国计量学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平面波导 阵列波导光栅 蚀刻衍射光栅 波分复用 光束传播方法
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 特邀报告
• 页码范围: 65-72
• 页数: 8页
• 分类号: TN256
• 字数: 3298字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1540.2001.02.014

摘要

着平面波导制作工艺的日益成熟，制造精度的不断提高，成本的持续下降，平面波导光集成器件尤其是Si基底上SiO2平面波导集成器件在光通信系统中的应用更加重要和广泛。Y分支分束器、MMI耦合器、阵列波导光栅（AWG）和蚀刻衍射光栅（EDG）等平面波导集成器件正扮演着越来越重要的作用，BPM等数值计算方法在这些器件的设计和模拟中也起了重要作用。本文就此作了一些探讨。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何赛灵	浙江大学光电系光及电磁波研究中心	100	1000	18.0	26.0
2	盛钟延	浙江大学光电系光及电磁波研究中心	17	221	9.0	14.0
3	周勤存	浙江大学光电系光及电磁波研究中心	14	82	6.0	8.0
4	戴道锌	浙江大学光电系光及电磁波研究中心	19	141	9.0	11.0
5	王谦	浙江大学光电系光及电磁波研究中心	22	336	9.0	18.0
6	吕俊	浙江大学光电系光及电磁波研究中心	16	71	5.0	8.0
7	殷源	浙江大学光电系光及电磁波研究中心	2	22	2.0	2.0