二元光学元件激光直接写入设备的研制

• 作者: 冯晓国 刘伟 廖江红 张景和
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 二元光学元件 激光直写设备 临界角法
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 154-157
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 4004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2001.02.012

摘要

本文介绍了二元光学元件制作的基本情况，国外制作二元光学元件设备的发展情况及国内制作二元光学元件设备的现状。重点介绍了长春光机所研制的二元光学元件激光直接写入设备中机械总体方面的主要关键技术，给出了导轨、传动系统、回转轴系、调焦伺服机构的主要技术指标和完成情况。另外还介绍了临界角法的调焦原理及实现光学调焦的调焦机构。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	422	5903	37.0	59.0
2	廖江红	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	165	7.0	11.0
3	张景和	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	106	4.0	4.0
4	冯晓国	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	28	366	13.0	18.0