低能电子显微方法的新进展

• 作者: 丁泽军 吴自勤 孙霞
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 弹性散射 非弹性散射 二次电子 能量阈值效应 低电子显微术
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 251-257
• 页数: 7页
• 分类号: O766.1
• 字数: 5772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2001.04.001

摘要

本文综述入射电子在样品中的散射、二次电子的产生机制和低能电子逸出的能量阈值效应.在大能隙半导体或绝缘体中,低能电子的非弹性散射自由程显著大于金属,从而为纳米材料的表征提供了条件.综述了低能电子显微术(LEEM)、低能电子投影显微术、弹道电子发射显微术(BEEM)、光发射电子显微术(PEEM)等低能电子显微方法,介绍了这些方法得到的许多结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙霞	中国科学技术大学天文与应用物理系	30	317	9.0	17.0
2	吴自勤	中国科学技术大学天文与应用物理系	33	324	9.0	17.0
3	丁泽军	中国科学技术大学天文与应用物理系	21	55	4.0	7.0