低温光化学生长金属钯薄膜研究

• 作者: 别利剑 尹静
• 来源期刊: 聊城大学学报（自然科学版）
• 学科: 化学
• 关键词: 准分子紫外光源 金属膜淀积 无电极电镀
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 基础科学研究
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: O643
• 字数: 3254字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6634.2001.04.016

摘要

报道了新一代紫外光源--激发态双分子(Excimer)紫外光源在制备金属薄膜材料方面的应用研究.金属钯是一种优良的催化剂,首先在各种衬底如Al2O3、AIN、玻璃以及聚合物等上面淀积钯的金属有机化合物薄膜,通过紫外光分解钯的金属有机化合物,形成数埃到几十埃的钯膜,然后再利用钯的催化效应,在无电极电镀液中淀积出几十纳米到几微米厚的各种金属薄膜(如Cu、Au、Ni等).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	别利剑	临沂师范学院化学系	3	3	1.0	1.0
2	尹静	临沂粮食学校基础部	1	0	0.0	0.0