压电驱动三维纳米定位系统的研究

• 作者: 周秀珍 王建林
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷 压电误差 纳米定位系统 数字闭环控制
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 439-442
• 页数: 4页
• 分类号: TH703.65
• 字数: 3548字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2001.06.010

摘要

在纳米科学与技术领域,纳米定位技术是实现纳米加工与测量的关键技术.本文作者采用柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为微位移驱动器,设计了一种新颖的三维纳米定位机构.给出了其刚度公式和动力学模型,对压电陶瓷的压电误差及其补偿方法进行了分析.结合激光干涉仪微位移检测装置.设计并研制了数字闭环控制的三维纳米定位系统.验表明,该纳米定位系统定位精度优于±0.03 μm,定位分辨力3 nm.最大定位时间40 ms.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周秀珍	北京化工大学信息科学与技术学院	14	88	5.0	9.0
2	王建林	北京化工大学信息科学与技术学院	107	1185	19.0	31.0