直线电机在微电子领域中的应用

• 作者: 刘伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 直线电机 工业控制器 驱动器 微电子学
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 311-314
• 页数: 4页
• 分类号: TN409|TM359.4
• 字数: 3156字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.04.003

摘要

直线电机是一种做直线运行的驱动电机.它的性能优劣直接影响到设备的精度、生产效率及产品的质量.文章介绍了如何用工业控制器和直线电机驱动器实现直线电机的超高速、高精度、无过冲、无振荡控制.直线电机的速度环由驱动器用PP算法闭合,位置环由工业控制器用带速度前馈的PID算法闭合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	422	5903	37.0	59.0