基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究

• 作者: 张昱 王跃林 金心宇 陈抗生
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微机械谐振传感器 单片机 闭环测控 真空测量
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 380-383
• 页数: 4页
• 分类号: TP21
• 字数: 2027字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2001.04.013

摘要

本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现.在微传感器工作原理理论分析的基础上,证明其适合于真空环境测量.利用闭环测控电路方式,使整机具有良好的灵敏度和可靠性.讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计.该测量仪的真空度测量范围接近102～10-1Pa,具有可靠性高、响应速度快等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈抗生	浙江大学信息学院	111	1373	20.0	32.0
2	金心宇	浙江大学信息学院	97	992	15.0	28.0
3	张昱	浙江大学信息学院	52	653	12.0	24.0
4	王跃林		2	29	1.0	2.0