激光直写系统焦斑整形的研究

• 作者: 卢振武 廖江红 李凤友 李红军
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光直写 光束整形 DOE
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 二元光学
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3083字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.01.004

摘要

针对激光直写光刻系统设计整形衍射光学元件（DOE），对写入焦斑的整形进行了研究。提出对不同焦距写入物镜下的焦斑，利用同一个DOE加以整形的方法。模拟表明:整形后焦 斑的面形和边缘显著改善，衍射效率高于实用指标，提供一种改善系统分辨能力的有效途径。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李红军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	83	1136	19.0	29.0
2	卢振武	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	93	1154	21.0	28.0
3	廖江红	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	165	7.0	11.0
4	李凤友	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	136	5.0	7.0