激光直写设备调焦伺服控制系统的研究

• 作者: 熊木地 肖文礼 邢忠宝
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 二元光学激光直写设备 二级调焦系统 两点探焦法 归一化处理
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 79-82
• 页数: 4页
• 分类号: TP272
• 字数: 2521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2000.01.020

摘要

精密调焦伺服控制技术属于激光直写设备中的关键技术之一。简要介绍了二元 光学激光直写设备的工作原理,分析了调焦伺服实现的方法，重点分析了由电机与压电陶瓷 构成的大范围二级调焦伺服系统的工作原理。提出了采用两点探焦法解决刻划时焦点的跳动 问题，采用归一化处理消除光强波动对调焦精度的影响。最后,给出经过这些方法改进后的 调焦特性曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢忠宝	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	34	206	9.0	12.0
2	熊木地	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	43	3.0	5.0
3	肖文礼	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	43	3.0	4.0