一种新型CO气敏双层薄膜材料

• 作者: 俞琳 刘文利 李蕾 高建华
• 来源期刊: 中国环境监测
• 学科: 地球科学
• 关键词: 粉末溅射 薄膜 传感器
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 监测仪器
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: X859
• 字数: 2001字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6002.2001.05.016

摘要

介绍了一种新型结构CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性.分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响,并对气敏机理的有关问题进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李蕾	山东大学物理与微电子学院	51	312	10.0	15.0
2	刘文利	山东大学物理与微电子学院	17	36	3.0	5.0
3	俞琳	山东大学物理与微电子学院	6	62	4.0	6.0
4	高建华	山东大学物理与微电子学院	5	16	2.0	4.0