电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中的应用

• 作者: 孔德义 李科 梅涛 熊小义 虞承端 陈永
• 来源期刊: 世界电子元器件
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 制程与自动化设备
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 2291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7604.2001.02.017

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梅涛	中国科学院合肥智能机械研究所	75	1218	19.0	31.0
2	孔德义	中国科学院合肥智能机械研究所	32	283	7.0	16.0
3	虞承端	中国科学院合肥智能机械研究所	6	175	5.0	6.0
4	陈永	中国科学院合肥智能机械研究所	11	140	6.0	11.0
5	李科	中国科学院合肥智能机械研究所	30	649	7.0	25.0
6	熊小义	中国科学院合肥智能机械研究所	2	12	2.0	2.0