基体/介质/金属双层薄膜内应力的研究

• 作者: 于映 陈跃
• 来源期刊: 福州大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 双层薄膜 平面干涉法 内应力
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 20-21，19
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1880字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2243.2001.01.006

摘要

采用PECVD法和磁控溅射法在40?Cr钢基片上分别沉积氮化硅薄膜和NiCr合金膜，用钠光平面干涉法测量双层薄膜的内应力，并具体分析该双层薄膜的内应力与薄膜厚度及系统之间的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于映	福州大学电子科学与应用物理系	36	343	8.0	17.0
2	陈跃	福州大学电子科学与应用物理系	6	65	3.0	6.0