核孔膜的非常规蚀刻法

• 作者: 冼鼎昌 巨新 张宝亭 彭良强 李涛 王世成
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 核孔膜 蚀刻
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 63-68
• 页数: 6页
• 分类号: O571.33
• 字数: 2046字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2001.01.013

摘要

不对称蚀刻法的分析表明，在灵敏度不变时可以得到小孔径核孔膜。实验显示，由于孔径不均匀现象的制约，核孔膜的孔径可减小到1/2。温度梯度蚀刻法的分析表明，导通时间的减小与膜两面的温度差成正比，在实际条件下孔径减小到1/5。模拟计算表明，采用该方法可得到柱状孔核孔膜，但蚀刻过程很难控制。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巨新	中国科学院高能物理研究所	16	134	9.0	11.0
2	彭良强	中国科学院高能物理研究所	24	141	7.0	11.0
3	王世成	中国科学院高能物理研究所	55	779	17.0	26.0
4	冼鼎昌	中国科学院高能物理研究所	21	109	6.0	10.0
5	张宝亭		7	6	1.0	2.0
6	李涛		4	7	1.0	2.0