基于平面等倾干涉原理的平面度视觉测量系统

• 作者: 王洪 王石刚 秦岚 薛联
• 来源期刊: 重庆大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 等倾干涉 条纹跟踪定位 机器视觉 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-582X.2001.03.002

摘要

介绍一种基于平面等倾干涉原理的机器视觉高精度平面度测量系统。它利用等倾干涉原理，通过CCD提取随平面度变化的明暗相交干涉圆环条纹信息，根据条纹中心不变性和中心对称性，以开始测量点适当级次条纹中心为参考条纹，间隔90°建立4个扇形窗口，对窗口内条纹信息处理，得到细化后条纹与参考条纹径向间距，参照前一测量点干涉条纹径向位置，得到干涉条纹在各测点的变化量N。该N值既能反映出半波长整数倍，又能反映半波长小数倍的测点高度差信息，利用最小二乘原理，处理N值，得到极高精度的平面度测量误差。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王石刚	上海交通大学机械工程学院	122	1350	19.0	31.0
2	秦岚	重庆大学光电工程学院	57	530	11.0	19.0
3	薛联	重庆大学光电工程学院	20	88	6.0	8.0
4	王洪	上海交通大学机械工程学院	15	118	8.0	10.0