根据等倾干涉标准环直径测量平面度的理论探讨

• 作者: 周建友 汤昌社 潘嘉声 胡润洪
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 平晶 平面度 等倾干涉 标准干涉环 机器视觉
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 页码范围: 305-308
• 页数: 4页
• 分类号: TB921
• 字数: 2506字
• 语种: 中文

摘要

从等倾干涉原理出发推导了标准干涉环直径D0的数学表达式和测量方法,并讨论D0在平晶平面度测量中的重要作用.结合实际的等倾干涉仪CCD成像系统,从理论上研究运用机器视觉技术测量D0变化进而探测空气层厚度细微变化(0.02 μm)的可行性,并由此提出机器视觉运用于干涉计量领域应解决的通用性问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤昌社		3	10	2.0	3.0
2	周建友		5	17	3.0	4.0
3	潘嘉声		7	19	3.0	4.0
4	胡润洪		2	10	2.0	2.0