平面光学元件平面度动态干涉拼接测量

• 作者: 于瀛洁 张小强 武欣 王伟荣
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 拼接测量 平面度 动态干涉仪 平面光学元件
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 484-488
• 页数: 5页
• 分类号: TB96
• 字数: 2919字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2016.05.07

摘要

开展了基于动态干涉仪的平面光学元件平面度干涉拼接测量，并研究了影响测量和拼接的主要误差。用二级减振的方法来抑制环境中振动的影响；根据允许的变化条纹数来控制二维移动平台导轨精度。建立了以ZYGO公司的DynaFiz干涉仪为子口径采集仪器的干涉拼接系统，开展了单口径平面度测量及拼接实验，完成了200 mm ×300 mm 平面光学元件的平面度测试，并与大口径干涉仪所测试的全口径测量数据进行比对，拼接结果的10次实验均方差为0.001λ（λ=632.8nm）。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学精密机械工程系	80	791	16.0	24.0
2	王伟荣		8	16	3.0	3.0
3	张小强	上海大学精密机械工程系	1	3	1.0	1.0
4	武欣	上海大学精密机械工程系	4	10	3.0	3.0