大尺寸光学元件在位动态干涉拼接测量系统

• 作者: 于瀛洁 武欣 齐特
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 子孔径拼接 动态干涉仪 大口径光学元件 误差均化拼接
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1764-1770
• 页数: 7页
• 分类号: TH74|TH703
• 字数: 4464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172507.1764

摘要

为了满足车间条件下大口径光学元件的高精度在位、在线检测的迫切需求,本文构建了一个适于一般环境下应用的动态干涉拼接测量实验系统.该系统由动态干涉仪、二维移动平台、控制系统及拼接软件等部分构成.应用该系统对200 mm×300 mm×20 mm的光学元件在一般应用环境下进行了拼接测量实验,采用误差均化拼接算法进行拼接,并对拼接后的结果进行分析处理,比较拼接测量与全口径测量结果,PV值的相对误差为3.1％,RMS值的相对误差为1.6％,Power值的相对误差为2.1％.该系统为在车间环境下建立大口径光学元件在位检测建立了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学机电工程及自动化学院	80	791	16.0	24.0
2	武欣	上海大学机电工程及自动化学院	4	10	3.0	3.0
3	齐特	上海大学机电工程及自动化学院	1	4	1.0	1.0