超精密平面磨床关键技术的发展

• 作者: 杨辉
• 来源期刊: 机械工艺师
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密加工 超精密机床 磨削
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TG58
• 字数: 4168字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2001.01.013

摘要

随着硬脆材料应用领域的扩大以及砂轮电解在线修整技术的发展，超精密磨削技术在近年来得到了飞速发展，其中超精密平面磨削技术的应用最为广泛。本文介绍了国内外超精密平面磨床的关键技术，包括总体结构、砂轮主轴及驱动系统、导轨及驱动系统、温度及热变形控制等。