激光与负透镜在小孔孔径测量中的应用

• 作者: 王天煜 王春辉 马和
• 来源期刊: 辽宁工程技术大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 激光:负透镜:数显卡尺 圆孔衍射 测量误差
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 机械与材料工程
• 页码范围: 338-340
• 页数: 3页
• 分类号: TB22
• 字数: 1375字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0562.2001.03.025

摘要

介绍用激光、负透镜和数显卡尺测量微小孔径的测量原理、测量方法,并用激光和万能工具显微镜对小孔孔径进行了对比测量.文中通过实验确定了用激光和负透镜测量小孔孔径的经验公式并进行了误差分析,实验和计算结果表明,该方法是可靠的,测量精度可达0.2μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马和	辽宁工程技术大学机械工程学院	13	60	6.0	7.0
2	王天煜	辽宁工程技术大学机械工程学院	16	55	5.0	7.0
3	王春辉	辽宁工程技术大学机械工程学院	1	1	1.0	1.0